真空碳管燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。為了保證粉末壓坯在燒結過程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉變等順利進行，燒結時需要對燒結溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行的控制。
真空碳管燒結爐主要用于工業(yè)陶瓷、結構陶瓷、金屬陶瓷、硬質合金行業(yè)作為材料在氣氛和壓力條件下的燒結設備。系周期作業(yè)式電爐，它是以優(yōu)質石墨作發(fā)熱體的高溫、高真空電阻爐，額定溫度為2000℃。在特殊需要的情況下，允許在保護氣氛中，短時間工作到2400℃-2500℃。可供金屬、難熔化合物及陶瓷材料等在真空或保護氣氛中加熱之用。
真空碳管燒結爐的安裝使用要領：
1、安裝：安裝真空燒結爐的場所應符合真空衛(wèi)生的要求，周圍的空氣應清潔和干燥，并有良好的通風條件，工作場地不易揚起灰塵等。
2、檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。
3、控制柜安裝在相應的地基上，并固定。
4、安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無誤。
5、檢查電器可動部分應活動自如，無卡死現(xiàn)象。
6、絕緣電阻應不低于2兆歐姆。
7、真空電爐各閥門必須在關閉位置。
8、控制電源開關放在關位。
9、手動調壓旋鈕逆時針旋動頭。
10、報警鈕放在開位。
11、按平面圖完成設備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議用戶在設備總進出水管處再接入一備用水（可用自來水），防止循環(huán)水有故障或斷電導致密封圈燒壞。
